在线自动光学外观检测系统的设计
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Design of online automatic optical inspection system
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    摘要:

    国内半导体制造行业经过几十年的产品生产及技术升级,其产品已向微型化发展。与此同时,外观检测还保持着人工方式,这也受到了下游客户的越来越多的质疑及挑战。基于此,自动光学检测系统的引入就被提到了紧要的地位。该系统采用嵌入式微控器加彩色线阵CCD捕获产品原始图像,然后通过滤波、边缘检测等实现被测产品的在线检测、分析判断并通过巧妙的机构来实现不良品的自动剔除。经过实际生产检验,该系统图像捕获、处理及分析均准确可靠,并实现了10 pcs/s的产品图检测及剔除。

    Abstract:

    After decades of production and technology upgrades, domestic semiconductor manufacturing is toward the miniaturization. Meanwhile, the visual inspection is still maintaining a manual way, which also has received more customer questions and challenges. Based on this, the introduction of an automatic optical inspection (AOI) system is referring to critical positions. This system captures the pictures with an embedded microcontroller and color linearity CCD camera, and then products through filtering, edge detection to achieve the online detection, analyze and removing of defects. After production validated, the image capture, processing, and analysis of the system are accurate and reliable, and inspection/removing speed reach to 10pcs/sec.

    参考文献
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    引证文献
引用本文

朱艳芹.在线自动光学外观检测系统的设计[J].国外电子测量技术,2015,34(7):62-65

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  • 在线发布日期: 2015-11-06
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